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等離子清洗機(jī)

更新時(shí)間:2025-03-04

簡(jiǎn)要描述:

等離子清洗機(jī)作為一種微觀固體表面的處理設(shè)設(shè)備,是一種全新的表面處理方案。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài)。對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性"組分包括:離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清洗機(jī)就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面,從而實(shí)現(xiàn)清潔等目的。

型號(hào):Z5KQX廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家瀏覽量:1111
品牌ZKAB/中科奧博產(chǎn)地類別國(guó)產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),地礦,航空航天

等離子清洗機(jī)作為一種微觀固體表面的處理設(shè)設(shè)備,是一種全新的表面處理方案。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài)。對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的活性"組分包括:離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清洗機(jī)就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面,從而實(shí)現(xiàn)清潔等目的。

主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、鍍膜工藝、PCB制程、PCB制程、元器件封裝前、COG前、真空電子、連接器和繼電器等行業(yè)的精密清洗,塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)等。

該清洗機(jī)內(nèi)置高純石英倉體,采用了新型的電極結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和固態(tài)電源技術(shù),使其有效容積增大,不同真空 氣體環(huán)境下容易匹配,且控制頻率穩(wěn)定。真空倉門有觀察窗,可直觀物體的處理過程,其射頻電源與控制都組裝在一個(gè)機(jī)箱內(nèi),即減少了空間的占用,更便于操作和放置,同時(shí)與大型清洗機(jī)相比較,從檢測(cè)功能與控制功能的設(shè)置上均可一個(gè)面板上操作,特別適用科學(xué)實(shí)驗(yàn) 樣品清洗 和教學(xué)。

 

  

設(shè)備型號(hào)

Z5KQX

S2DQX

控制方式

7寸觸摸屏人機(jī)界面

7寸觸摸屏人機(jī)界面

供電電源

AC220VAC110V可選)

工作電流

整機(jī)工作電流不大于3.5A(不含真空泵)

射頻電源功率

500W

150W

匹配方式

自動(dòng)匹配

手動(dòng)匹配

清洗頻率

40KHz

13.56MHz

耦合方式

電容耦合

工作真空

≤30Pa

≤50Pa

腔體材質(zhì)

高純石英

腔體容積

5L(內(nèi)徑Φ152mmX深度280mm)

2L(內(nèi)徑Φ110mmX深度220mm)

觀察窗內(nèi)徑

Φ50

Φ50

氣體流量

0-50ml/min(熱式質(zhì)量流量傳感器X2個(gè))

真空計(jì)量程

1E5Pa1E-1Pa(皮拉尼真空計(jì))

過程控制

自動(dòng)切換

手動(dòng)匹配自動(dòng)切換

清洗時(shí)間

自動(dòng)開關(guān)

開蓋方式

鉸鏈側(cè)開式法蘭

外形尺寸

450*450*250mm

450*450*360mm

真空室溫度

小于65°C

冷卻方式

強(qiáng)制風(fēng)冷

標(biāo)配

KF16真空管1米,kf16卡箍2個(gè),不銹鋼網(wǎng)匣1個(gè),電源線一根,說明書一本。





 

 

 

 


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